エキシマ照射装置
高エネルギーのエキシマ光により、短時間でダメージレスな洗浄・改質を実現
エキシマ（VUV）光により、ガラス、基板からフィルム、シートなどの表面を化学的に洗浄、改質することができます。また、水銀不使用のランプのため環境へも優しい工法です。
実験、テスト用設備から最先端の生産設備まで幅広くサポートいたします。
製品ラインナップ（製品例）
オーダーメイド製品・既存製品のカスタマイズも承ります。
小型実験装置（100mm対応)
エキシマ照射のトライアル用に持ち運び可能な実験装置をご用意しています。ハンディタイプもございます。
340mm対応面光源シリーズ
部材塗装前のコーティング処理、内装の貼り合わせ処理に利用される、中型の照射装置です。
大型基板用 ステージ搬送機
大型基板を処理するためのステージ搬送機能付きの大型装置です。